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射频磁控溅射,支持非金属靶材
射频功率:1-500W,射频频率:13.56MHz,自动匹配
可通各种惰性气体,极高本底真空
氮气,氩气等,进气量可调
直径50mm厚度1-2mm金属靶材
方便更换靶材,配方默认保存方便下次操作
美国团队设计,中国生产组装
品质保证,全球服务网络,中国北京,香港,美国圣地亚哥售后
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制 膜 行 业 领 导 者
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