产品特点及主要性能指标:
1、自动快速调节匹配网络
2、实时显示入射功率及反射功率变化, 指示精度 3%
3、显示自偏压
4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征
5、采用真空电容调节(1KW以上)
6、具有自动控制和手动控制两种模式
7、电压输入: 220v
8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用
9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性
10、规格:500W—10KW
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