sp-iia

产品特点及主要性能指标：

　　　　1、自动快速调节匹配网络

　　　　2、实时显示入射功率及反射功率变化，   指示精度 3%

　　　　3、显示自偏压

　　　　4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征

　　　　5、采用真空电容调节（1KW以上）

　　　　6、具有自动控制和手动控制两种模式

　　　　7、电压输入: 220v

　　　　8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用

　　　　9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性

　　　　10、规格：500W—10KW