sp-iia

产品特点及主要性能指标:

    1、自动快速调节匹配网络

    2、实时显示入射功率及反射功率变化,   指示精度 3%

    3、显示自偏压

    4、实时显示电容位置变化,可明显展示工艺阻抗变化的特征

    5、采用真空电容调节(1KW以上)

    6、具有自动控制和手动控制两种模式

    7、电压输入: 220v

    8、提供配合射频电源的反射功率保护信号,与射频电源配合使用

    9、直流电机驱动,保证运行期间合适的速率,从而提高匹配网络的稳定性

    10、规格:500W—10KW